재질

- SN-20

- RF Generator: 반도체 Wafer 가공을 위한 Plasma 발생 고주파 전원 장치
- Plasma Source: Ferrite Core를 적용 검토 중(UU type - 2모델 개발 중; U156, U14; PL-F1)
- RPG: 공정장비 쳄버 내 유해가스를 세정하는 원격 Plasma 발생기